Российские физики ведут работы по запуску технологического накопительного комплекса в Зеленограде для создания микросхем. Директор Института ядерной физики им. Г. И. Будкера, Павел Логачев, сообщил о планах создать опытный образец ионного ускорителя в течение трёх лет. Основной целью является разработка отечественной технологической цепочки для производства микроэлектроники.
Технологический накопительный комплекс станет ключевым инструментом для создания и тестирования литографов, необходимых для печати микросхем. Логачев подчеркнул важность наличия таких устройств в России. Учёные будут восстанавливать комплекс, созданный в Зеленограде в 1990–1991 годах, но оставшийся неиспользованным из-за распада Советского Союза.
Для создания отечественного имплантора, используемого для введения химических элементов в полупроводниковые пластины, физики работают с учёными Центрального научно-исследовательского института точного машиностроения в Зеленограде. Этот процесс необходим для изготовления микросхем, и опытный образец установки ожидается через три года.
Финансирование проекта предполагается из различных источников, включая Минпромторг РФ, Курчатовский институт и правительство Москвы. Эти усилия направлены на создание независимой технологической базы для микроэлектроники в России.
